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STR MTF6-12-3Z小型滑动式CVD系统由1200度滑动式开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此小型滑动式CVD系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。

主要技术参数：

电炉名称	小型滑动式CVD系统
电炉型号	STR-MTF6-12-3Z
炉体结构	双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温； 真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 炉子底部装有一对滑轨，移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却 支撑两端安装油压缓冲器 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料
电源	电压：AC220V 50、60Hz；功率：4KW
炉管	高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小 尺寸：Φ40、60、80、100*1200mm
法兰及支撑	SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合
加热系统	加热元件采用掺钼的铁铬铝合金加热丝(OCr27Al7Mo2)，加热温度可达1200℃。表面负荷高、经久耐用 加热区长度：440mm 恒温区长度：200mm 工作温度：≤1150℃ 设计温度：1200℃ 升温速率：10℃/min
温控系统	温度控制采用人工智能温控仪表，具有PID调节、自整定功能30段升降温程序 测温元件：K型热电偶 恒温精度：±1℃
混气系统	三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用304不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5%
真空系统	采用双极旋片真空泵，真空度可达5x10-1 Torr 数显式真空压力表 可选高真空系统及真空计，压力控制系统等
可选配件	混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。

TAG:小型CVD系统 
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