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1800℃高温升降式退火炉为晶棒退火炉、晶片退火炉。该1800℃高温升降式退火炉可选智能电动升降式、单向、双向轨道、丝杆、电动升降式。

1800℃高温升降式退火炉采用1900型硅钼棒为加热元件，加热元件分布四周，热场温度均匀；氧化锆纤维做保温与炉膛材料；以及特制的传感器，控制系统为全自动（PLC）工控系统+触摸屏+工控机；使用温度1800℃，长期使用温度1750℃，恒温时间不限；节能环保；采用双壳体设计、配有风冷系统，可使炉壳表面温度低，更换方便，使用寿命长的优点。

主要特点：

1、节能环保；

2、使用温度高，恒温时间不限；

3、炉门设计独特，装卸料快捷；

4、加热元件分布四周，热场温度均匀；

5、炉壳表面温度低，使用寿命长，更换方便等优势。

晶棒退火炉 Crystal bar annealing furnace

主要技术参数

型号	CBF1800 单向退火炉	CBF1800 双向退火炉	CBF1650 单向退火炉	CBF1650 双向退火炉
有效工作区 尺寸（mm）	860*340*300	860*340*300	860*420*450	860*420*450
额定功率	57KVA	57KVA	57KVA	57KVA
每炉装载量	4寸晶棒约 5800mm	4寸晶棒约 5800mm	4寸晶片约 9000mm	4寸晶片约 9000mm
额定温度	1750℃	1750℃	1600℃	1600℃
加热元件	U型1900型硅钼棒	U型1900型硅钼棒	U型1800型硅钼棒	U型1800型硅钼棒
控制精度	士0.5℃	士0.5℃	士0.5℃	士0.5℃
控温方式	50 段PID智能程序控温，可编程序控制器（PLC）控制＋触摸屏＋工控机
保温材料	氧化错纤维	氧化错纤维	氧化铝纤维	氧化铝纤维
移动轨道行 程速率	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分
升降平台行 程速率	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分
操控方式	手动与自动	手动与自动	手动与自动	手动与自动
工作电压	电炉加热380V 仪表工作220v	电炉加热380V 仪表工作220V	电炉加热380V 仪表工作220V	电炉加热380V 仪表工作220V
运行机构	丝杆、轨道、电 动运行	丝杆、轨道、电 动运行	丝杆、轨道、电动 运行	丝杆、轨道、电 动运行

1800℃晶棒退火炉是蓝宝石晶棒、晶片退火，特种陶瓷烧结，其它超高温行业烧结，各大科研院校和质检单位的高温退火设备。可根据用户生产需求订制同款式非标型号设备。

通过几年以来蓝宝石晶棒退火实践证明，在加工切片前必须要进行退火流程来解决晶体应力所导致的不良情况。

蓝宝石晶棒退火目的是什么？

在高温（1750℃）加热状态下，通过高温促使晶体晶格打乱后重新排列，同时清除一些晶格内部缺陷，从而释放内部应力，为后续加工奠定良好的基础。

晶体退火恒温时间为36小时；每炉次退火时间为5天左右。退火后的晶棒在切割完成后，晶片翘曲低于1丝，线弓小于2毫米、内应力、崩边现象及线痕精准度得到很大的提升；加工后的晶片成品率也达到了95%以上。成品率提高了，成本又降低了很多，同时延长了晶棒的切割线的使用寿命。

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