晶片退火炉

产品型号：晶片退火炉

电炉类型：钟罩炉\升降炉

电炉规格：

加热温度：1800

电炉系列：赛特瑞电炉

应用范围：晶片退火炉。

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产品简介 / Introduction

晶片退火炉主要技术参数

电炉型号	CBF1800 单向退火炉	CBF1800 双向退火炉	CBF1650 单向退火炉	CBF1650 双向退火炉
有效工作区尺寸（mm）	860340300	860340300	860420450	860420450
额定功率	57KVA	57KVA	57KVA	57KVA
每炉装载量	4寸晶棒约5800mm	4寸晶棒约5800mm	4寸晶片约9000mm	4寸晶片约9000mm
额定温度	1750℃	1750℃	1600℃	1600℃
加热元件	1900型U型硅钼棒	1900型U型硅钼棒	1800型U型硅钼棒	1800型U型硅钼棒
控制精度	≤±0.5℃	≤±0.5℃	≤±0.5℃	≤±0.5℃
控温方式	100段PID智能程序控温，可编程序控制器（PLC）控制＋触摸屏＋工控机
保温材料	氧化锆纤维	氧化锆纤维	氧化铝纤维	氧化铝纤维
移动轨道行程速率	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分
升降平台行程速率	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分
操控方式	手动与自动	手动与自动	手动与自动	手动与自动
工作电压	电炉加热380V 仪表工作220V	电炉加热380V 仪表工作220V	电炉加热380V 仪表工作220V	电炉加热380V 仪表工作220V
运行机构	丝杆、轨道、电动运行	丝杆、轨道、电动运行	丝杆、轨道、电动运行	丝杆、轨道、电动运行

1800℃退火炉为1800℃升降式烧结炉、1800度升降式高温退火炉。
1800℃ 晶棒退火炉、晶片退火炉
电炉结构有连体升降炉、分体升降炉、1800℃双向装卸料、1800℃双向退火炉、单向退火炉、

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晶片退火炉可以加热到多少度？

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晶片退火炉温控表怎么操作?

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