STR-MTF6-12-3Z小型滑动式CVD系统

产品型号：STR-MTF6-12-3Z小型滑动式CVD系统

电炉类型：高温管式炉

电炉规格：

加热温度：1200

电炉系列：赛特瑞电炉

应用范围：STR-MTF6-12-3Z小型滑动式CVD系统由1200度滑动式开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此小型滑动式CVD系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。。

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产品简介 / Introduction

STR MTF6-12-3Z小型滑动式CVD系统由1200度滑动式开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此小型滑动式CVD系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。

主要技术参数：

电炉名称	小型滑动式CVD系统
电炉型号	STR-MTF6-12-3Z
炉体结构	双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温；真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好炉子底部装有一对滑轨，移动平稳炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启，可以实时观察加热的物料
电源	电压：AC220V 50、60Hz；功率：4KW
炉管	高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小尺寸：Φ40、60、80、100*1200mm
法兰及支撑	SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合
加热系统	加热元件采用掺钼的铁铬铝合金加热丝(OCr27Al7Mo2)，加热温度可达1200℃。表面负荷高、经久耐用加热区长度：440mm 恒温区长度：200mm 工作温度：≤1150℃ 设计温度：1200℃ 升温速率：10℃/min
温控系统	温度控制采用人工智能温控仪表，具有PID调节、自整定功能30段升降温程序测温元件：K型热电偶恒温精度：±1℃
混气系统	三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀管路采用304不锈钢管，接口为Φ6卡套每路气体进气管路配有不锈钢针阀通过控制面板上的旋钮来调节气体流量流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5%
真空系统	采用双极旋片真空泵，真空度可达5x10-1 Torr 数显式真空压力表可选高真空系统及真空计，压力控制系统等
可选配件	混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。

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