小型PECVD管式炉系统为实验室用小型PECVD系统，PECVD系统（等离子增强化学气相沉积系统）由高温管式炉、真空系统、3路质子流量控制和射频电源四大模块组成，可加预热炉。
本设备借助13.56Mhz的射频输出使含有薄膜组成原子的气体电离，在真空腔体内形成等离子体，利用等离子的强化学活性，改善反应条件，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术，然后得到基片上沉积出所期望的薄膜。
电炉名称：1200℃小型PECVD管式炉系统:
炉管尺寸：φ40--φ100mm
电炉结构：普通管式炉、滑动管式炉
温区长度：300mm/440mm
设计温度：1200℃
控温精度：±1℃
混气系统：2路质子混气室、3路质子混气室、5路质子混气室
1、CVD管式炉系统由高温管式炉、真空获得、3路质子流量控制和射频电源
2、管式炉可选择不同的管径和恒温区的长度、电炉结构（普通管式炉、滑动管式炉），炉管两端装有高真空不锈钢密封法兰；
3、真空系统可根据试验要求选择不同的真空泵，旋片式机械真空泵真空度≤0.098Mpa，分子泵真空机组真空度1×10-4pa；
4、气路供气系统可选择3路浮子手动和3路自动质量流量系统
5、真空测量为数字复合真空机或皮拉尼真空计
6、等离子体放电选择13.56Mhz的设备电源，功率输出可选择200W、300W和500W
7、管式炉可选择单温区300mm和440mm，也可选择三温区或多温区进行温度的梯度试验
8、温控器内置的RS485数字通信端口和USB适配器作为可选配置，可连接PC，用于系统的远程控制和监视，还可以保存或导出测试结果。
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型号规格 |
STR-PECVD40-12 |
STR-PECVD60-12 |
STR-PECVD80-12 |
STR-PECVD100-12 |
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炉管尺寸 |
Φ40x 1200mm |
Φ60 x 1200mm |
Φ80x1200mm |
Φ100x 1200mm |
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设计温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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温区长度 |
300mm/440mm |
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电源电压 |
220V/1.8KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
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加热元件 |
HRE铁铬铝合金电阻丝 |
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炉膛材料 |
湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 |
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炉管材料 |
石英管 |
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控温精度 |
±1℃ |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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温控仪表 |
智能智能温控仪表+PID控制，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能； 可编程序30个时段，程序升温、程序保温、程序降温 |
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升温速度 |
1-25℃/min自由调节 |
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炉体结构 |
炉膛温控一体式结构，炉膛开合式；双层炉体外壳，空气循环隔热 |
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密封性能 |
炉管两端装有不锈钢金属法兰，配套高温 PTFE 垫圈，可在真空下进行工作， 真空度≤0.098Mpa（旋片式真空泵） |
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射频电源 |
频率：13.56 MHz±0.005%，功率：5W-500W，功率稳定性 ：±0.5% |
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气体控制 |
可选择3路浮子手动流量计，量程60-600ml /min；3路自动质量流量计，量程1-500sccm |
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气氛性能 |
法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量， 可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 |
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气路接口 |
KF25真空挡板阀和KF25不锈钢波纹管连接真空泵； 保护气氛6mm不锈钢卡套接头和PTFE管路 |
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设备保护 |
模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作 |
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人员保护 |
在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员 |
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炉体外壳 |
加厚冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 |
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质量认证 |
ISO9001，付费可认证CE、SGS、TUV |
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Phone
微信Wechat
邮箱Emailsaiterui#qq.com 
