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1200℃小型CVD双炉体滑动管式炉

来源:赛特瑞电炉 | 发布日期:2024-06-09

1200℃小型CVD双炉体滑动管式炉是一种实验室常用的高温设备,双炉体滑动管式炉由两个炉体组成,共用一支石英管和滑道,石英管两端不锈钢法兰密封。

双炉体滑动管式炉炉底装有一对滑轨,可以手动左右移动炉子。炉体在滑轨上滑动,以便实现对原材料的蒸发/升华和薄膜沉积。这种设计使得双炉体滑动管式炉能够实现对样品的快速加热和快速冷却,非常适合进行高温化学气相沉积(CVD)等实验。

化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。

1200℃管式炉化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。

双炉体滑动管式炉广泛应用于材料科学、半导体制造、纳米技术等领域。它们可以用于制备石墨烯、硫化物、氧化物等材料,也适用于进行高温热处理、烧结、退火等实验。

主要技术参数

电炉名称:1200℃小型CVD双炉体滑动管式炉

炉管尺寸:φ60、φ80、φ100、φ120mm

温区长度:250mm+250mm

设计温度:1200℃

控温精度:±1℃

电炉特点

1、炉体外壳采用金属Q235低碳钢,表面静电耐药涂装,抗腐蚀,双色搭配,简洁美观

2、坚固的双层金属框架配合隔热风扇结构,炉表面温度低

3、炉管水平、上开盖结构,操作方便

4、配有滑动装置,炉底装有水平滑轨,可实现管式炉移动,达到快速升温和降温

5、多层隔热设计,由轻质氧化铝陶瓷纤维和高品质隔热板背衬组成,不含石棉成分,热损失小,能耗55、高品质HRE螺旋电阻丝加热元件,牢固的预埋式电阻丝(半露,镶嵌在炉膛内壁),在炉腔内自由热辐射加热,使用寿命长;电阻丝环形加热,从而实现炉内的良好均匀性

6、PID配合SSR控制方式,温度控制准确

7、配有304不锈钢的密封法兰,获得炉管内的真空或者气氛

8、高品质石英玻璃工作炉管,也可选择金属或刚玉材质的工作炉管,从而适应不同的工况

9、高性能双旋片真空泵,可获得5pa的真空度,数字真空计可显示真空度

10、配有气路控制单元,控制单元可选择1-3路MFC自动控制系统


1200℃小型CVD双炉体滑动管式炉技术参数

电炉名称 1200度双炉体滑动管式炉
电炉型号 SGM-MTF60-1200D
炉体结构 双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过50℃
炉膛材质 真空吸附成型的优良高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
设计温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速度 推荐≤10℃/min,最快升温速度20℃/min
炉管材料 根据使用温度不同,更换不同材质管子
炉管尺寸 外径:60mm
加热区长度 250mm/炉体
温控系统 温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能
1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序
2、控温精度±1ºC
3、具有过温保护、断偶保护
4、仪表具有温度自整定的功能
加热元件 高温合金丝
测温元件 K型热电偶
工作电源 AC220V,50Hz
额定功率 5KW(以实际功率为准)
滑动装置 镀Cr厚钢板双向滑轨,可实现管式炉移动,达到快速升温和降温
法兰密封 两个1200℃管式炉共用一支石英管和滑道,石英管两端不锈钢法兰密封
气路系统部分
质量流量计 三路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。
MFC1 范围: 0-500 sccm(量程可选)
MFC2 范围: 0-500 sccm(量程可选)
MFC3 范围: 0-500 sccm(量程可选)
气路:3路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4" 卡套
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
标准配置 主机1台,气路系统1套,法兰1套,石英管1支,炉堵2个,坩埚钩1把,高温手套1副、说明书1份、合格证保修卡1份


小型CVD双炉体滑动管式炉(1400℃+1200℃)技术参数

电炉名称 1400度双炉体滑动管式炉
产品型号 SGM-DTF60-1400D
炉体结构 双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过50℃
炉膛材质 真空吸附成型的优良高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
最高温度 1400℃
连续工作温度 ≤1300℃
升温速度 推荐≤10℃/min,最快升温速度20℃/min
炉管材料 根据使用温度不同,更换不同材质管子
炉管尺寸 外径:60mm
加热区长度 300mm
温控系统 温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能
1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序
2、控温精度±1ºC
3、具有过温保护、断偶保护
4、仪表具有温度自整定的功能
加热元件 高温硅碳棒
测温元件 S型热电偶
工作电源 AC220V,50Hz
额定功率 5KW(以实际功率为准)
滑动装置 镀Cr厚钢板双向滑轨,可实现管式炉移动,达到快速升温和降温
与1200℃管式炉共用滑道
1200℃管式炉部分
炉体结构 双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过50℃
炉膛材质 真空吸附成型的优良高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
工作温度 ≤1100℃
升温速度 推荐≤10℃/min,最快升温速度20℃/min
炉管尺寸 Φ60mm  (长度以实际温度为准)
温区长度 250mm
温控系统 温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能
1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序
2、控温精度±1ºC
3、具有过温保护、断偶保护
4、仪表具有温度自整定的功能
加热元件 含钼合金电阻丝
测温元件 K型热电偶
工作电源 AC220V,50/60Hz
额定功率 3KW(以实际功率为准)
滑动装置 镀Cr厚钢板双向滑轨,可实现管式炉移动,达到快速升温和降温
与1400℃管式炉共用滑道
法兰密封 1400℃管式炉和1200℃管式炉共用一支石英管和滑道,石英管两端不锈钢法兰密封
气路系统部分
质量流量计 三路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。
MFC1 范围: 0-500 sccm(量程可选)
MFC2 范围: 0-500 sccm(量程可选)
MFC3 范围: 0-500 sccm(量程可选)
气路:3路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4" 卡套
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
标准配置 主机1台,气路系统1套,法兰1套,石英管1支,炉堵2个,坩埚钩1把,高温手套1副、说明书1份、合格证保修卡1份


双炉体滑动管式炉在制备石墨烯、锂电正负极材料、晶体退火、LED发光材料等领域表现出优势。这种炉子的设计允许两个炉膛左右自由移动,可以随时改变温场位置,实现快速降温等功能。此外,双炉体滑动管式炉还具有良好的保温性能、耐用性以及节能效果,能够满足材料骤冷骤热的实验要求。

双炉体滑动管式炉相对于单炉体而言,具有以下几个显著的性能特点:

双炉体设计:双炉体滑动管式炉通常内置两个独立的温区,能够创造出不同的温度梯度,这对于某些特定的实验条件非常有利,如生长石墨烯等。

快速加热和冷却:由于采用了滑动炉体设计,双炉体滑动管式炉能够在加热和冷却过程中实现快速移动,这样可以更快地达到所需的温度,并在实验结束后迅速冷却样品,减少热应力对样品的影响。

灵活的空间布局:双炉体滑动管式炉的设计使得在实验过程中,样品可以在炉体内部自由移动,这不仅有助于样品的均匀加热,还可以在实验结束后迅速移出炉体,实现快速降温。

高效的保温性能:双炉体滑动管式炉通常采用优质的保温材料,如真空吸附成型的氧化铝多晶纤维,这种材料具有良好的保温性能和较高的拉伸强度,能够确保炉内温度的稳定性。

安全可靠的操作:双炉体滑动管式炉配备了多种安全保护措施,如上盖开启自动断电功能、超温报警断电功能以及漏电保护措施,这些都大大提高了实验的安全性。


【本文标签】 炉体滑动管式炉、炉体滑动管式炉

【本文地址】

双温区管式炉 小型回转管式炉 STR-LBF27-12 管式实验电炉

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