晶片退火炉主要技术参数
电炉型号 |
CBF1800 单向退火炉 |
CBF1800 双向退火炉 |
CBF1650 单向退火炉 |
CBF1650 双向退火炉 |
有效工作区尺寸(mm) |
860*340*300 |
860*340*300 |
860*420*450 |
860*420*450 |
额定功率 |
57KVA |
57KVA |
57KVA |
57KVA |
每炉装载量 |
4寸晶棒约5800mm |
4寸晶棒约5800mm |
4寸晶片约9000mm |
4寸晶片约9000mm |
额定温度 |
1750℃ |
1750℃ |
1600℃ |
1600℃ |
加热元件 |
1900型U型硅钼棒 |
1900型U型硅钼棒 |
1800型U型硅钼棒 |
1800型U型硅钼棒 |
控制精度 |
≤±0.5℃ |
≤±0.5℃ |
≤±0.5℃ |
≤±0.5℃ |
控温方式 |
100段PID智能程序控温,可编程序控制器(PLC)控制+触摸屏+工控机 |
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保温材料 |
氧化锆纤维 |
氧化锆纤维 |
氧化铝纤维 |
氧化铝纤维 |
移动轨道行程速率 |
1040.4mm/分 |
1040.4mm/分 |
1040.4mm/分 |
1040.4mm/分 |
升降平台行程速率 |
92.8mm/分 |
92.8mm/分 |
92.8mm/分 |
92.8mm/分 |
操控方式 |
手动与自动 |
手动与自动 |
手动与自动 |
手动与自动 |
工作电压 |
电炉加热380V 仪表工作220V |
电炉加热380V 仪表工作220V |
电炉加热380V 仪表工作220V |
电炉加热380V 仪表工作220V |
运行机构 |
丝杆、轨道、电动运行 |
丝杆、轨道、电动运行 |
丝杆、轨道、电动运行 |
丝杆、轨道、电动运行 |
1800℃退火炉为1800℃升降式烧结炉、1800度升降式高温退火炉。
1800℃ 晶棒退火炉、晶片退火炉
电炉结构有连体升降炉、分体升降炉、1800℃双向装卸料、1800℃双向退火炉、单向退火炉、
立式真空淬火炉 小试磷酸铁锂烧结炉 五面加热高温箱式电炉 GM-M20-17
气氛管式电炉 大口径管式电阻炉 超高温加热炉 高温热震实验炉
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外壳由冷轧钢板折,表面经高速抛丸后静电喷塑。
可拆卸组合面有密封垫、环、圈、帽。
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可按客户要求定制。
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