高纯石英砂氯化氢提纯炉 

高纯石英砂氯化氢提纯炉技术详解

一、工艺原理

• 石英颗粒表层及浅层杂质在高温下与HCl气体反应
• 利用石英矿物表面与内部的化学位梯度促进内部包裹体扩散
• 未完全反应的HCl气体经前端排出后进入酸雾吸收塔（碱液吸收）处理

二、典型设备参数

三、设备结构特点

1. 炉管材质：采用高纯度石英管，防止金属炉管在高温下引入杂质污染
2. 加热系统：多区独立控温，确保温度场均匀，避免石英砂受热不均
3. 气体系统：精密气体流量控制装置，保证氯化剂稳定通入
4. 尾气处理：配套碱液吸收塔+活性炭吸附系统，处理未反应的有害气体
5. 进料系统：连续式投料设计，可与前后工序无缝衔接

四、生产工艺流程中的位置

五、应用优势

1. 提纯效果显著：可去除传统酸浸无法清除的晶格杂质和包裹体
2. 产品质量高：稳定生产4N5-5N级超高纯石英砂，满足半导体行业要求
3. 环保可控：封闭式反应系统+尾气处理，符合环保标准
4. 规模化生产：连续式投料，单台设备产能可达万吨级

六、技术发展趋势