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热搜关键词： 1200℃大口径滑轨炉 管式快速退火炉 渗碳炉炉盖总成 钟罩式金刚石锯片氢气保护烧结炉
管式快速退火炉（RTP管式炉）是一种结合了快速热处理（Rapid Thermal Processing, RTP）技术与管式炉结构的先进设备，通过高强度光源（卤素灯或红外灯）实现秒级快速加热，并利用滑动式或强制冷却系统实现快速降温，整个工艺在真空或受控气氛中进行。
1. 滑动式管式快速退火炉（RTP炉）
结构特点：炉管可倾斜旋转，样品通过滑轨快速移入/移出加热区
核心应用：
半导体制造：离子注入后激活退火、硅化物形成、欧姆接触制备
二维材料：CVD法生长石墨烯等大面积二维材料
薄膜工艺：薄膜沉积后的快速退火、晶化、致密化
金属材料：不锈钢光亮退火、钛合金去应力退火、磁性材料退磁| 对比项 | RTP快速退火炉 | 普通管式炉 |
|---|---|---|
| 加热方式 | 红外灯管辐射加热 |
电阻丝/硅碳棒传导加热
|
| 升温速率 | 可达50°C/s |
5-10°C/min
|
| 结构复杂度 | 扁平/矩形+滑轨系统 |
圆柱形封闭炉体
|
| 控温精度 | ±1℃甚至更高 | ±3-5℃（常规） |
| 适用领域 | 半导体、精密薄膜 |
金属加工、陶瓷烧结（常规）
|
| 成本 | 较高（技术复杂） |
| 产品名称 | RTP管式快速退火炉 |
| 工作温度 | 900℃ |
| 控 制 器 | LED(可选配LCD触屏) |
| 炉 膛 | 开启式 滑道式 |
| 炉管尺寸 | 根据需求尺寸定制 |
| 加热元件 | 卤素灯 |
| 升温速率 | ≤50℃/S |
| 热 电 偶 | 根据实际需要设计来配 |
| 温度控制器 | 30段高精度数字可编程温度控制器 |
| 特殊要求 |
具体细节可根据客户需求定制（详情欢迎来电咨询我们） 1、可定制真空系统 2、可定制气路系统 3、其他特殊工艺需求 |
| 处理晶圆尺寸：2英寸 | 处理晶圆尺寸：4英寸 | 处理晶圆尺寸：6英寸 | |||
| 炉管外径 | 100MM | 炉管外径 | 110-150MM | 炉管外径 | 180MM |
| 加热区尺寸 | 200MM | 加热区尺寸 | 300MM | 加热区尺寸 | 400MM |
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