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高温电炉系列-高温马弗炉厂家-洛阳赛特瑞高温实验炉

2200度高温真空气氛烧结炉

来源:高温马弗炉 | 发布日期:2025-02-15

结构说明:

1、炉体为立式炉壳,采用双层水夹层结构,上、下法兰组焊成筒型结构。内外壁均为不锈钢(304)喷砂处理,法兰平面开设密封槽。“O”圈真空密封,为防止因温度过高“O”圈老化,均设有水冷装置,炉体的侧部设有抽气孔,电极引出孔,观察孔,测温孔等。

2、发热元件:采用节能型的钨网结构,它与电极联结,并由电炉控制系统三相供电经过变压器降压后用铜牌联结到三个引出电极,形成一个控制回路,耗电少、结构新颖。

3、隔热屏:炉内四周、顶部及底部的保温隔热屏均采用二层钨片,八层钼片及一层304不锈钢支架组成,经过加工分别制作成整体的保温隔热系统。

4、炉盖:采用双层水夹层结构,内外壁均为不锈钢喷砂处理,与法兰组焊而成,炉盖中心设有控温测温孔。

5、炉架箱体:由型钢及钢板组焊成箱型框架结构,炉体安置在炉架上。

6、水冷系统:由各种阀、管道等相关装置组成,具有断水、声光报警及自动切断加热电源功能。

7、真空系统:采用由壹台TRP-60直联式机械泵(优点污振动小)无油污,结构新颖,壹台分子泵,真空机组、真空过滤器、放气阀(手动及气动)、气动高真空挡板阀,气动碟阀、真空压力表(±Pa),真空管道与泵采用金属波纹软管,快速接头联接,真空测量仪选用复合数显高真空测量仪,它具有相当宽的测量范围,可实现全过程连续真空测量的过程。

8、控制系统:具有多组P.I.D功能全自动控制,具有超温声光报警功能,电控系统还具有过流、断水、超温等声光报警功能。主要电器元件采用欧姆龙或施耐德品牌, 电气控制系统集中在控制柜中,面板上设计了10寸液晶触摸屏、电流及电压表、真空计等。控制柜为标准电控柜结构,集成了通风系统。能够保证不会因为环境温度过高而影响柜内元件及仪表的正常使用。

全部工况动作配有安全联锁保护,具有超温断电,停水断电(停止加热、真空泵等)。设置必要的声光报警及保护,例如超温、水压低、气压低等,设置有应急开关。

产品型号

wsf2200-160

电源规格

AC380V  三相 50HZ

额定功率


45 Kw ±10 Kw

额定工作温度

2000℃(连续)

控温区数
1区
工作区尺寸
Φ 160×160 mm
冷态极限真空度

5×10-4Pa

压升率
3.0 Pa/h

控温范围

室温~2000 ℃(钨铼热电偶)

温度控制精度

≤ ±1 ℃

充气压力

≤ 0.015 MPa

充气介质

氩气/氮气

操作控制

触摸屏+PLC

控制系统

控制部分以10寸触摸屏和可编程控制器PLC为核心,配以空气开关、接触器、继电器、指示灯等元器件,通过各种传感器的信号,实现炉体机械机构的逻辑控制。对温度、真空度进行记录、存储、实时显示、设定工艺曲线,具有多组工艺配方的储存、调用功能。

温度精度

+/- 1℃


节能型的钨

设备使用注意事项

1、随时注意炉盖、炉体、炉底及水冷电极的温度,不能烫手,否则要停止加热,检查水路是否畅通。

2、真空度如抽不上时应检查扩散泵内油是否被氧化,以及机械泵是否老化,如老化应及时更换。

3、充保护性气体时应注意观察真空压力表的数值,不能超过正压(一般在0以下2-3个格处及-50Pa左右,炉内还是负压)。要注意气体有受热膨胀的特性,如果接近正压时,可以打开机械泵和预抽阀把气体抽走一部分。

4、装料时一定要注意不要碰到石墨发热体(有锯缝的),因为发热体烧过以后易碎,造成不必要的损失。

5、平时应注意对炉内,炉外的保洁,真空阀的维护工作。

6、开启水泵后应注意检查各个阀门是否全部打开,并且连接水管无滴水的现象,如有应及时排除。

服务支持

1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如炉管和密封圈等)。

【本文标签】 高温真空气氛烧结炉、高温真空气氛烧结炉

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1200℃双温区高温管式电阻炉 小型管式CVD气相沉积炉 1600 1700℃双温区管式炉

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